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用于硅片表面抛光清洗处理
产品特点 | 技术参数
主要用于电池各工序所产生异常硅片的返工清洗处理
主要用于石墨舟清洗处理
用于PE-POLY路线石墨舟的清洗处理
用于硼扩磷扩LPCVD等石英舟石英管的清洁处理
配置进口的臭氧水浓度检测仪；可以进行1拖多模式，每路单独控制浓度；
当前位置：
