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用于PE-POLY路线石墨舟的清洗处理
产品特点 | 技术参数
用于硼扩磷扩LPCVD等石英舟石英管的清洁处理
配置进口的臭氧水浓度检测仪；可以进行1拖多模式，每路单独控制浓度；
手动实验清洗设备，提供试验线产品定制服务
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