产品名称

链式单面去PSG清洗机

型号

KSPSG

适用工艺路线

TOPCON、PERC、XBC

功能简介

去除太阳能电池片单面磷硅玻璃（PSG）

工艺流程

水膜→HF刻蚀→水洗→吹干

适用硅片尺寸

12道182;10道210/230，可选配硅片多种尺寸

道数

182mmx182mm :12 道(6+6 方式)；210-230mm :10 道(5+5 方式)

带速

2-5m/min可调

产能

182:≥16000片/小时;210:≥12500片/小时

碎片率

硅片厚度≥130um，碎片率<0.01%

功率/电压

~33KW/380V

设备特点

高带速精准带液刻蚀滚轮，避免边缘欠刻或过刻；精细化水膜控制，确保水膜覆盖完整无掉水；电导率实时监测药液浓度，保证刻蚀工艺稳定；量产稳定4.5带速，少摩擦，耗材寿命更长