单晶制绒清洗机
产品名称:单晶制绒清洗机
功能简介:通过硅于碱的各向异性反应在硅片表面制备均匀的金字塔绒面结构,提升硅片陷光效应。
工艺流程:去损伤→预清洗→制绒→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→预脱水→烘干
设备特点:制备的金字塔结构均匀,刻蚀深度可调;支持MES、RFID及选配在线称重功能;在线一键洗配槽,实现简单快速换液;工艺槽根据工艺要求循环量可调。
产品名称 |
单晶制绒清洗机 |
型号 |
KSTEX |
适用工艺路线 |
TOPCON、PERC、HIT、XBC、叠层电池等 |
功能简介 |
通过硅于碱的各向异性反应在硅片表面制备均匀的金字塔绒面结构,提升硅片陷光效应。 |
工艺流程 |
去损伤→预清洗→制绒→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→预脱水→烘干 |
适用硅片尺寸 |
182x182mm、可兼容18X-230 硅片多种尺寸 |
花篮数量 |
4、6篮 |
产能 |
182:≥16000片/小时;210:≥12500片/小时 |
碎片率 |
硅片厚度≥130um,碎片率<0.01% |
功率/电压 |
310KW/380V50Hz 3相5线制 |
设备特点 |
制备的金字塔结构均匀,刻蚀深度可调;支持MES、RFID及选配在线称重功能;在线一键洗配槽,实现简单快速换液;工艺槽根据工艺要求循环量可调 |