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单晶制绒清洗机

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产品名称:单晶制绒清洗机

功能简介:通过硅于碱的各向异性反应在硅片表面制备均匀的金字塔绒面结构,提升硅片陷光效应。

工艺流程:去损伤→预清洗→制绒→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→预脱水→烘干

设备特点:制备的金字塔结构均匀,刻蚀深度可调;支持MES、RFID及选配在线称重功能;在线一键洗配槽,实现简单快速换液;工艺槽根据工艺要求循环量可调。

产品名称

单晶制绒清洗机

型号

KSTEX

适用工艺路线

TOPCON、PERC、HIT、XBC、叠层电池等

功能简介

通过硅于碱的各向异性反应在硅片表面制备均匀的金字塔绒面结构,提升硅片陷光效应。

工艺流程

去损伤→预清洗→制绒→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→预脱水→烘干

适用硅片尺寸

182x182mm、可兼容18X-230 硅片多种尺寸

花篮数量

4、6篮

产能

182:≥16000片/小时;210:≥12500片/小时

碎片率

硅片厚度≥130um,碎片率<0.01%

功率/电压

310KW/380V50Hz 3相5线制

设备特点

制备的金字塔结构均匀,刻蚀深度可调;支持MES、RFID及选配在线称重功能;在线一键洗配槽,实现简单快速换液;工艺槽根据工艺要求循环量可调